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汉钟PS系列干式螺杆真空泵排气路径短,减少反应物沉积
汉钟干式螺旋真空泵相对于其他形式的真空泵,因气体于泵浦内的传输路径最短,最不易产生反应物沉积的现象,线性密封性佳,泵浦性能好。转子能以较大的啮合间隙达到更快的抽气效果。由于内啮较大,泵浦较不易因制程气体沉积而卡死,转子也较不易因磨耗而更换。
汉钟螺旋式真空泵因只需利用一对转子互相啮合到达密封效果,结构上不像其他真空泵需要油中间隔板的设计,降低转子与隔板乘积卡死的风险。且因其结构单纯,拆解维修也较容易,因此能缩短维修时程,减低维修费用。