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FEI显微镜在大连海事大学应用

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人气:132发表时间:2018-05-04 10:05

FEI显微镜在大连海事大学应用

FEI 是一家生产、经营多种科学仪器的业内领先企业。其产品包括电子和离子束显微镜,以及可满足多个行业纳米尺度应用的相关产品,这些行业横跨:工业和理论材料研究、生命科学、半导体、数据存储、自然资源等等诸多领域。为全球纳米技术团体提供世界级的显微镜学解决方案。

Magellan™ XHR 扫描电子显微镜
Quanta™
扫描电子显微镜
Nova™ NanoSEM
扫描电子显微镜
Inspect™
扫描电子显微镜

FEI显微镜透射电子显微镜(TEM)
Tecnai™
透射电子显微镜揭示材料和设备表面下的缺陷聚焦离子束系统(FIB) 是一个非常类似于聚焦电子束系统(如扫描电子显微镜)的工具。这些系统令离子束指向样品,然后离子束经相互作用可产生一些信号,通过将这些信号映射至离子束位置即可生成高放大倍数的样品图像。聚焦离子的质量比电子质量大很多倍,因此当其撞击材料时,这些离子会使材料表面的原子溅射出去。此外,可以将气态化学物质注入到材料表面附近,然后进行材料沉积或依材料而定的选择性蚀刻。
Vion Plasma
FIB 仪器
The Vion PFIB
等离子 FIB 是一部具有高精密、高速度切割和铣蚀能力的仪器。其具有选择性铣蚀所关注区域的能力。此外,PFIB 还可以选择性沉积带图案的导体和绝缘体。FEI显微镜V400ACE™ 聚焦离子束仪器
V400ACE
聚焦离子束 (FIB) 系统融入了离子镜筒设计、气体输送和终端探测技术的最新发展成果,以便实现快速、有效、具成本效益的高级集成电路编辑。电路编辑使产品设计人员可在数小时内修改导电路径并测试已修改的电路,而不必花费数周甚或数月时间来生成新掩模和加工新晶片。FEI显微镜V600™ and V600CE™ 聚焦离子束仪器


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