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EDWARDS爱德华真空泵功能和优势非常低的噪音级别,仅为 43 dB(A)。

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人气:140发表时间:2019-06-21 10:11

EDWARDS爱德华真空泵功能和优势非常低的噪音级别,仅为 43 dB(A)。

非常低的噪音级别,仅为 43 dB(A)。

该泵旨在进行可靠的长期运行。

紧凑的尺寸。

低能耗。

较低的工作温度可将设备上的热负荷降到最低程度。

该泵为自由放置的装置。

电机是全封闭的,通过电机冷却风扇进行冷却。

具有集成式油封口的压力压铸油箱可防止油泄露。

用于大量水蒸汽处理的气囊阀。

EDWARDS爱德华真空泵选择几乎每种干式刻蚀制程都需要使用涡轮分子泵 (TMP) 来实现反应离子刻蚀 (RIE) 系统所需的低压。Edwards 发明了第一款 TMP,并且继续使用新技术和性能挑战该行业。我们提供一系列产品以符合您的应用要求。例如,要想获得极低压力,您可以使用我们的全叶片 TMP 之一,并会对所实现的压缩比和低基准压力惊叹不已。您可以对高流量运转选择组合使用叶片和 Holweck 式转子的混合产品。我们甚至提供针对出色的氢气性能进行微调的产品,因为在分子速度下,并非所有分子在通过 TMP 时都具有相同的行为。


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