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Edwards爱德华真空泵在电机是全封闭的，较低的工作温度可将设备上的热负荷降到最低程度。
EDWARDS爱德华真空泵应用领域
分析仪器、氦检漏仪、研发、前级涡轮分子泵
EDWARDS爱德华真空泵功能和优势
非常低的噪音级别，仅为 43 dB(A)。
该泵旨在进行可靠的长期运行。
紧凑的尺寸。
低能耗。
较低的工作温度可将设备上的热负荷降到最低程度。
该泵为自由放置的装置。
电机是全封闭的，通过电机冷却风扇进行冷却。
具有集成式油封口的压力压铸油箱可防止油泄露。
用于大量水蒸汽处理的气囊阀。
EDWARDS爱德华真空泵选择几乎每种干式刻蚀制程都需要使用 涡轮分子泵 (TMP) 来实现反应离子刻蚀 (RIE) 系统所需的低压。Edwards 发明了第一款 TMP，并且继续使用新技术和性能 挑战该行业。我们提供一系列产品以符合 您的应用要求。例如，要想获得极低压力，您可以使用 我们的全叶片 TMP 之一，并会对所实现的压缩比和低基准压力 惊叹不已。您可以对高流量运转选择组合使用叶片 和 Holweck 式转子的混合产品。我们甚至提供 针对出色的氢气性能进行微调的产品，因为在分子速度下，并非 所有分子在通过 TMP 时都具有相同的行为。
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具有集成式油封口的压力压铸油箱可防止油泄露。
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